晶粒传输装置

摘要

一种晶粒传输装置，其包括一用以供应晶粒之第一承载体以及一用以输送物件之第二承载体。晶粒传输装置亦包括一输送引擎，其包括二个以上之同轴旋转器，同轴旋转器能够互相同轴地转动；各同轴旋转器包括一终端受动器，以自第一承载体接收一晶粒，并将接收之晶粒传送至位于第二承载体之物件上；终端受动器系分别设置于一同心圆上，其轴心系与同轴旋转器轴心相同；终端受动器系与第一承载体实质上相对零速度、并连续地自第一承载体接收晶粒，然后以与第二承载体实质上相对零速度地将所接收之晶粒传送至位于第二承载体之物件上；当终端受动器旋转时，其转速系受到控制以便在晶粒之接收作动及传输作动中进行时间调整及转速调整。

主权项

一种晶粒传输装置，其系用以传输复数个晶粒至复数个物件上，包含：一第一承载体，其系承载该等晶粒；一第二承载体，其系承载该等物件；复数个终端受动器，其系自该第一承载体接收该等晶粒，并将该等晶粒传送至该等物件上；复数个同轴旋转器，其系分别与该等终端受动器之一连接，并分别独立地绕着一同心轴旋转；以及复数个伺服驱动器，其系分别驱动该等同轴旋转器之一，以独立随机地改变各同轴旋转器之周期性转速，其中，各终端受动器系不可分离地设置于各同轴旋转器上，且分别布设在以该同心轴为轴心之一同心圆上，该等伺服驱动器系分别驱动该等终端受动器连续且依序移动，各终端受动器系自该第一承载体接收该等晶粒之一，并将所接收之该晶粒传送至位于该第二承载体之该等物件之一上，而在包含上述传输作动及上述接收作动之作动周期间，各终端受动器之转速系独立地改变，该等终端受动器系分别与该第一承载体同步作动，以便与该第一承载体实质上相对零速度地自该第一承载体接收该等晶粒之一，该等终端受动器更分别与该第二承载体同步作动，以便与该第二承载体实质上相对零速度地将所接收之该等晶粒之一传送至位于该第二承载体之该等物件之一上。