主权项 |
一种基板储存容器,包括:一容器主体,包括一开口、一后壁和一对侧壁,并用于将一基板储存在该对侧壁之间,其中该对侧壁包括一接触部分,用以与该基板周缘部分接触;一盖子元件,用以封闭该容器主体之该开口;相对设置在该对侧壁上的至少一第一支撑部件,用于支撑该基板的周缘部分;以及相对设置在每个该对侧壁上的至少一第二支撑部件,用于支撑该基板的周缘部分,并且位于该后壁和该些第一支撑部件之间;其中该接触部分、该第一支撑部件及该第二支撑部件系与该容器主体具有相同材料,且该接触部分、该第一支撑部件和该第二支撑部件覆盖有摩擦性质低于该容器主体之摩擦性质的一树脂层;其中该树脂层包括一薄区域及一厚区域,该薄区域系用以支撑该基板保持水平,且该厚区域系覆盖于该薄区域外。 |