旋压盖检测装置及具该装置之测试机台

摘要

本发明提供一旋压盖检测装置及具该检测装置之测试机台，其是包括一基座、一上盖及一致动装置，藉由将一上盖枢设在该检测装置之基座上，使上盖可受致动装置驱动的在一可供一待测半导体元件置放/取出的开启位置及一可供迫紧该半导体元件的关闭位置间转动。藉此，不用再需要使用机械臂连动上盖去定位迫紧基座中晶片，不但可缩小检测装置之整体体积，提升空间利用效率，更可缩小测试机台的整体体积及成本，亦可进一步增加机台各测试埠之排列配置弹性。

主权项

一种旋压盖检测装置，用以供测试一待测半导体元件，包括：一基座，具有一可供该待测半导体元件置放之置放部；一上盖，枢设于该基座上，并可相对于该基座呈一可供放置/取出该待测半导体元件之开启状态或一用以迫紧该半导体元件之闭合状态间转动；及一致动装置，用以带动该上盖于该开启状态及该闭合状态间枢转。