水质评价方法、及利用该方法之超纯水评价装置与超纯水制造系统

摘要

本发明提供一种水质评价方法、使用该水质评价方法的超纯水评价装置以及备有该超纯水评价装置的超纯水制造系统，该水质评价方法以对矽物质的影响度作为指标、简易且高灵敏度地对作为制造半导体或液晶用的洗涤水而使用的超纯水的腐蚀性进行评价。使超纯水制造装置制造的超纯水等试样水与矽物质接触，测定与该矽物质接触后的试样水的溶解氢浓度，算出相对于与该矽物质接触前的上述试样水的溶解氢浓度的提高部分，基于该溶解氢浓度的提高部分，判断该试样水是否具有腐蚀矽表面的性质。

主权项

一种水质评价方法，其特征在于：使试样水与矽物质接触，测定与该矽物质接触后的试样水中含有的溶解氢浓度，基于通过与该矽物质接触而提高的该溶解氢浓度，对试样水的水质进行评价。