发明名称 |
加压脱泡炉及加压脱泡炉系统 |
摘要 |
本发明系关于一种加压脱泡炉及一种加压脱泡炉系统。本发明之加压脱泡炉包括一具有一进料口及一出料口之桶槽本体,用以容置至少一面板卡匣;邻设于进料口及出料口的第一龙门支撑单元与第二龙门支撑单元,第一龙门支撑单元与第二龙门支撑单元并分别具有一驱动装置;以及第一桶槽门盖板与第二桶槽门盖板。其中,第一桶槽门盖板与第二桶槽门盖板分别对应于桶槽本体的进料口与出料口,并分别于第一龙门支撑单元与第二龙门支撑单元上移动,以与桶槽本体嵌合形成一密闭空间以执行一加压脱泡制程。 |
申请公布号 |
TWI322477 |
申请公布日期 |
2010.03.21 |
申请号 |
TW096132992 |
申请日期 |
2007.09.05 |
申请人 |
友达光电股份有限公司 |
发明人 |
萧俊斌;徐盟贵;李运铨 |
分类号 |
H01L21/677;H01L23/31;G02F1/1333 |
主分类号 |
H01L21/677 |
代理机构 |
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代理人 |
吴冠赐;苏建太;林志鸿 |
主权项 |
一种加压脱泡炉,包括:一桶槽本体,系具有一进料口及一出料口,用以容置至少一面板卡匣,其中该面板卡匣系经由该进料口进入该桶槽本体并经由该出料口移出该桶槽本体;一第一龙门支撑单元与一第二龙门支撑单元,系分别邻设于该桶槽本体之进料口及出料口,并分别具有一驱动装置;以及一第一桶槽门盖板与一第二桶槽门盖板,系分别设置于该第一龙门支撑单元与该第二龙门支撑单元上,并分别对应于该桶槽本体之进料口与出料口,以与该桶槽本体嵌合形成一密闭空间以执行一加压脱泡制程。 |
地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行二路1号 |