发明名称 NG
摘要
申请公布号 DE502006006067(D1) 申请公布日期 2010.03.18
申请号 DE200650006067T 申请日期 2006.03.14
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 VOGT, HOLGER
分类号 G01J5/20;H01L51/42 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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