申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC.;CAO, YONG;EWERT, MAURICE E.;TANG, XIANMIN;MILLER, KEITH A.;LUBBEN, DANIEL C.;KELKAR, UMESH M.;GUNG, TZA-JING;SUBRAMANI, ANANTHA K. |
发明人 |
CAO, YONG;EWERT, MAURICE E.;TANG, XIANMIN;MILLER, KEITH A.;LUBBEN, DANIEL C.;KELKAR, UMESH M.;GUNG, TZA-JING;SUBRAMANI, ANANTHA K. |