| 摘要 |
本发明公开一种提高提拉法制作ZnO透明导电薄膜透过率的方法，该方法的ZnO溶胶相对于基底板沿水平方向以26.9～85.7mm/min速率匀速运动，有两种实现方式：一采用直板状基底板，ZnO溶胶相对于基底板沿水平方向匀速流动的速率为V＝1.027(V<sub>c</sub>T<sup>0.32</sup>/n)；二采用圆筒状基底板，圆筒状基底板相对于盛ZnO溶胶的容器绕其竖直方向轴线匀角速转动，圆筒状基底板转动角速率为ω＝1.027(V<sub>c</sub>T<sup>0.32</sup>/nR)。其中，V<sub>c</sub>为基底板自ZnO溶胶中垂直提拉的速度，V<sub>c</sub>＝6～15mm/min；n为溶胶中Zn离子的浓度，n＝0.7～0.8mol/l；T为溶胶温度，T＝50～70℃；R为圆筒型基底板的外圆半径，R＝3～6cm。本方法制作成本低，操作方便，ZnO薄膜透过率提高明显。 |
