发明名称 一种真空开关真空度测试校验装置及其检验方法
摘要 一种真空开关真空度测试校验装置,包括真空灭弧室(1)、稳压腔室(2)、对比腔室(3)、真空计、真空阀门和真空泵(6)。测试校验时,开启机械泵(10);当稳压腔室(2)的真空压强达到10<sup>-1</sup>Pa时,关闭第二隔断阀(9),开启第一隔断阀(7)、插板阀(5)和分子泵(6),当第一真空计(4)显示真空灭弧室(1)真空压强小于6.6×<sup>-2</sup>Pa时,微调插板阀(5),同时向稳压腔室(2)通入氮气。当稳压腔室(2)和真空灭弧室(1)以及对比腔室(3)的压强平衡时,比对真空开关真空度测试仪(15)测得的真空度和第一真空计(4)显示的真空度,即可校验真空开关真空度测试仪(15)的测量误差。
申请公布号 CN101672713A 申请公布日期 2010.03.17
申请号 CN200910093157.2 申请日期 2009.09.25
申请人 中国科学院电工研究所 发明人 邵涛;严萍
分类号 G01L27/00(2006.01)I;G01R31/327(2006.01)I 主分类号 G01L27/00(2006.01)I
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 关 玲;贾玉忠
主权项 1、一种真空开关真空度测试校验装置,其特征在于所述装置包括真空灭弧室(1),稳压腔室(2),对比腔室(3),第一和二真空计(4、8),插板阀(5),第一和二隔断阀(7、9),分子泵(6),机械泵(10)和进气阀(11);真空灭弧室(1)通过管道连接稳压腔室(2),对比腔室(3)连接第一真空计(4),对比腔室(3)并通过管道连接稳压腔室(2),稳压腔室(2)通过插板阀(5)连接分子泵(6),分子泵(6)通过第一隔断阀(7)连接第二真空计(8)和机械泵(10),机械泵(10)并通过第二隔断阀(9)连接稳压腔室(2),稳压腔室(2)并通过进气阀(11)连接氮气气瓶(12)。
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