压印和擦除非晶态金属合金的方法

摘要

本发明涉及使用非晶态金属材料进行压印光刻的材料、方法和设备。可使用该非晶态金属材料作为压印介质，并且在图案转印工序期间施加热塑性成形加工以便在非晶态金属层中产生微米级和纳米级图案。图案转印是直接掩模压纹形式或者通过连续纳米压痕加工。还公开了重写加工，其涉及通过二次热塑性成形加工实现的擦除机制。还可以直接使用该非晶态金属材料作为压印光刻中的压纹模版以允许大批量的压印纳米制造。本发明还包括在单独表面张力的作用下使表面平滑的方法。

主权项

1.将微米要件或纳米要件压印到非晶态金属合金层内的方法，该方法包括步骤：a)将非晶态金属合金层加热到该非晶态金属合金的过冷液体区内的温度，以便软化该非晶态金属合金层；b)将图案转印到软化的非晶态金属合金层内；和c)将非晶态金属合金冷却到低于该非晶态金属合金的过冷液体温度区的温度，以便使该非晶态金属合金层再次凝固。