发明名称 一种氢化炉
摘要 本实用新型公开了一种氢化炉,包括炉筒(1)、底盘(2)、电极组件(3)、加热器(4)、保温罩(5)、设备支撑架(6)、出气口(8)和混合气进口(9);其中炉筒(1)与底盘(2)连接在一起;炉筒(1)内部有加热器(4)和保温罩5;加热器(4)固定在电极组件(3)上,电极组件(3)通过底盘上的电极座安装在底盘(2)上,底盘(2)和电极组件(3)是绝缘的;保温罩(5)直接放置在底盘(2)上,水冷高温出气口(8)焊接在底盘(2)上,在炉筒(1)的顶部有混合气进口(9);整个炉体安装在支撑架(6)上。该氢化炉使用方便安全、效率高。
申请公布号 CN201424377Y 申请公布日期 2010.03.17
申请号 CN200820223356.1 申请日期 2008.12.12
申请人 四川新光硅业科技有限责任公司;四川新光多晶硅工程技术有限公司 发明人 张惠国;蒲晓东;赵兴华;刘勇;毛庆;朱建军
分类号 C01B33/021(2006.01)I 主分类号 C01B33/021(2006.01)I
代理机构 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 代理人 林辉轮;熊晓果
主权项 1、一种氢化炉,其特征在于,包括炉筒(1)、底盘(2)、电极组件(3)、加热器(4)、保温罩(5)、设备支撑架(6)、出气口(8)和混合气进口(9);其中炉筒(1)与底盘(2)连接在一起;炉筒(1)内部有加热器(4)和保温罩5;加热器(4)固定在电极组件(3)上,加热器(4)位于保温罩(5)内部,电极组件(3)通过底盘上的电极座安装在底盘(2)上,底盘(2)和电极组件(3)是绝缘的;保温罩(5)直接放置在底盘(2)上,水冷高温出气口(8)焊接在底盘(2)上,在炉筒(1)上有混合气进口(9)。
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