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发明名称 Chemically amplified resist composition containing low molecular weight additives
摘要
申请公布号 EP1126320(B1) 申请公布日期 2010.03.17
申请号 EP20010300088 申请日期 2001.01.05
申请人 KOREA KUMHO PETROCHEMICAL CO. LTD. 发明人 KIM, JAE YOUNG;PARK, JOO HYEON
分类号 G03F7/039;C08K5/00;C08L35/00;C08L45/00;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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