用真空延伸室储放遮盘的传输室

摘要

本发明关于一种用于处理半导体基板的设备组。本发明的一实施例提出一种用于设备组的主框架，其包含内设有基板传输机械手的传输室。基板传输机械手经配置以将基板来回移动于一或多个直接或间接连接至传输室的处理室之间。主框架还包含遮盘架，其经配置以储放待用于一或多个处理室的一或多个遮盘，其中基板传输机械手可进入遮盘架，从而，基板传输机械手可将一或多个遮盘传输于遮盘架与一或多个直接或间接连接至传输室的处理室之间。

主权项

1.一种用于设备组的主框架，包含：传输室，内设有基板传输机械手，其中所述基板传输机械手经配置以将基板来回移动于直接或间接连接至所述传输室的一或多个处理室之间；以及遮盘架，经配置以储放待用于所述一或多个处理室中的一或多个遮盘，其中所述基板传输机械手可进入所述遮盘架，从而，所述基板传输机械手得以传输所述一或多个遮盘于所述遮盘架以及直接或间接连接至所述传输室的所述一或多个处理室之间。