先导式微型滑阀

摘要

一种微型阀装置包括微型滑阀，该微型滑阀可根据横跨该阀的压力差而移动。

主权项

1.一种用于控制流体流动的微型阀装置，其包括：主体，其界定具有第一端部和第二端部的腔，所述主体具有输入口和输出口，所述输入口用于流体连通进入所述腔，所述输出口用于流体连通离开所述腔；微加工的滑阀，其具有设置在所述腔中的第一端部和第二端部，以便在第一位置和第二位置之间滑动，所述第一位置允许流体从所述输入口流动到所述输出口，而所述第二位置限制流体从所述输入口流动到所述输出口，所述滑阀通过第一流体容积和第二流体容积之间的横跨所述滑阀的压差来定位，所述第一流体容积处于控制压力下，且设置在所述第一阀端部和所述腔的所述第一端部之间，而所述第二流体容积处于参考压力下，且设置在所述第二阀端部和所述腔的所述第二端部之间，其中，所述参考压力通过改变所述滑阀的位置而改变。