光电倍增器

摘要

本发明涉及一种光电倍增器，其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器，在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上，配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电压分配部(311)。尤其是，电子倍增部由用于对来自光电面的光电子进行级联倍增的多段倍增电极构成，向这些各段倍增电极分别施加相应电压的电压分配部，和电子倍增部一起位于同一平面上。

主权项

1.一种光电倍增器，其特征在于，具备：外围器，使由包括器件搭载面的内壁面所规定的内部空间维持真空状态；光电面，被容纳于所述外围器的内部空间内，相应于经过该外围器取入的光而向该外围器的内部释放电子；电子倍增部，以配置在所述器件搭载面上的状态而被容纳于所述外围器的内部空间内，并具有沿着电子的行进方向依次配置的多段倍增电极；阳极，以配置在所述器件搭载面上的状态而被容纳于所述外围器的内部空间内，用于将在所述电子倍增部被级联倍增的电子中到达的电子作为信号而取出；以及，电压分配部，被容纳于所述外围器的内部空间内，用于向构成所述电子倍增部的多段倍增电极分别施加规定电压，并且以从除了所述器件搭载面之外的所述外围器的内壁面分离的状态，与所述电子倍增部和所述阳极一起被配置在所述器件搭载面上。