发明名称 硅电容麦克风
摘要 本实用新型提供了一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。该硅电容麦克风降低了制造工艺的难度,批量生产成本低,同时,可以防止背板和振膜吸附在一起。
申请公布号 CN201426176Y 申请公布日期 2010.03.17
申请号 CN200920132249.2 申请日期 2009.05.27
申请人 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 发明人 颜毅林;葛舟
分类号 H04R19/04(2006.01)I 主分类号 H04R19/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 1、一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,其特征在于:所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。
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