发明名称 RECYCLE AND REUSE OF SILANE
摘要
申请公布号 EP2162389(A1) 申请公布日期 2010.03.17
申请号 EP20080770204 申请日期 2008.06.05
申请人 LINDE LLC 发明人 SAXENA, NEERAJ;MCMULLEN, NIGEL;CUDDEBACK, BRUCE
分类号 C01B33/00;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/455 主分类号 C01B33/00
代理机构 代理人
主权项
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