| 发明名称 |
Capillary, capillary polishing method, and capillary polishing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1946886(B1) |
申请公布日期 |
2010.03.17 |
| 申请号 |
EP20070121908 |
申请日期 |
2007.11.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SASAKI, JUN;YABUKI, AKIHIKO |
| 分类号 |
B24B19/16;B24B29/08;B24B37/04;B24D18/00;C12M3/00 |
主分类号 |
B24B19/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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