腔盖启闭机构

摘要

本发明公开了一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，其传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，支撑体与腔体的一侧壁固定连接，连接轴贯穿支撑体且平行于腔盖，连接轴的两端分别与两执行机构连接，蜗轮固定于连接轴上且位于支撑体内，蜗杆设置于支撑体内且与蜗轮垂直啮合，减速器的输出轴与蜗杆一端连接，输入轴与传动轴的一端连接，传动轴的另一端与驱动机构连接，控制单元控制驱动机构运动，驱动机构通过传动机构同步的带动两执行机构，实现腔盖的启闭，本发明结构简单、操作方便、省力、安全、精度高、不易使腔盖变形，保证OLED生产中真空设备的高真空度。

主权项

1.一种腔盖启闭机构，包括控制单元、驱动机构、传动机构、两执行机构及具有腔盖的设备腔，所述两执行机构固定连接于所述腔盖上且相互平行，所述传动机构固定连接于所述腔体的一侧壁且位于所述两执行机构之间，所述传动机构的一端与所述执行机构连接，另一端与所述驱动机构连接，所述控制单元控制所述驱动机构运动，所述驱动机构通过所述传动机构同步的带动两所述执行机构，实现所述腔盖的启闭，其特征在于：所述传动机构包括传动轴、减速器、蜗杆、蜗轮、连接轴及呈中空结构的支撑体，所述支撑体与所述腔体的一侧壁固定连接且位于所述两执行机构之间，所述连接轴贯穿所述支撑体且平行于所述腔盖，所述连接轴的两端分别与所述两执行机构连接，所述蜗轮固定于所述连接轴上且位于所述支撑体内，所述蜗杆设置于所述支撑体内且与所述蜗轮垂直啮合，所述蜗杆一端与所述减速器的输出轴连接，所述减速器的输入轴与所述传动轴的一端连接，所述传动轴的另一端与驱动机构连接。