阀和具有该阀的处理装置

摘要

本发明公开了一种设置在能够使内部保持减压的腔体和对该腔体内进行排气的排气装置之间的阀。该阀具有：包含第一开口和第二开口的第一阀主体，该第一开口和第二开口容许气体在腔体和排气装置之间连通；封闭用阀体，配置在第一阀主体内，与第一阀主体的第二开口离合，以对该第二开口进行开闭；密封部件，设置在封闭用阀体上，在封闭用阀体将第一阀主体的第二开口关闭时，将该第二开口密封；阀退避部，设置在第一阀主体的从第二开口分离的内壁部，在封闭用阀体从该第二开口分离而移动时，从第一阀主体的内部空间对密封部件进行遮蔽；和第一转动轴，转动封闭用阀体，使之能够配置在第一阀主体的第二开口和阀退避部中的一方。

主权项

1.一种阀，设置在能够使内部保持减压的腔体和对该腔体内进行排气的排气装置之间，其特征在于，具有：包含第一开口和第二开口的第一阀主体，该第一开口和第二开口容许气体在所述腔体和所述排气装置之间连通；封闭用阀体，配置在所述第一阀主体内，与所述第一阀主体的所述第二开口离合，以对该第二开口进行开闭；密封部件，设置在所述封闭用阀体上，在所述封闭用阀体将所述第一阀主体的第二开口关闭时，将该第二开口密封；阀退避部，设置在所述第一阀主体的从所述第二开口离开的内壁部，在所述封闭用阀体从该第二开口分离而移动时，从所述第一阀主体的内部空间对所述密封部件进行遮蔽；和第一转动轴，转动所述封闭用阀体，使之能够配置在所述第一阀主体的第二开口和所述阀退避部中的一方。