发明名称 |
使用压电元件的致动器和驱动该致动器的方法 |
摘要 |
提供一种使用压电元件的致动器和驱动该致动器的方法。所述致动器包括:至少一个压电单元,根据输入电压移动位移;至少一个压电传感器,感测所述至少一个压电单元的位移;误差检测器,从所述至少一个压电传感器检测误差;反馈信号产生器,对应于所述误差产生反馈信号,从而执行微镜驱动和感测。 |
申请公布号 |
CN101674030A |
申请公布日期 |
2010.03.17 |
申请号 |
CN200910173086.7 |
申请日期 |
2009.09.10 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
郑永民;李庆雨;权宰焕;苏亨钟;金弘熙 |
分类号 |
H02N2/00(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I |
主分类号 |
H02N2/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 |
代理人 |
韩明星;李娜娜 |
主权项 |
1、一种使用压电元件的致动器,所述致动器包括:至少一个压电单元,根据输入电压移动位移;至少一个压电传感器,感测所述至少一个压电单元的位移;误差检测器,从所述至少一个压电传感器检测误差;反馈信号产生器,对应于所述误差产生反馈信号。 |
地址 |
韩国京畿道水原市 |