发明名称 Verfahren zur Überwachung von Temperaturänderungen strahlendurchlässiger Unterlagen für bei Unterdruck aufzubringende dünne Schichten
摘要
申请公布号 CH468001(A) 申请公布日期 1969.01.31
申请号 CH19670018037 申请日期 1967.12.21
申请人 BALZERS PATENT- UND BETEILIGUNGS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HACMAN,DIONYS,DR.
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01K3/12;C03C17/00 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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