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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KOMPENSATION DER RANDRINGABNUTZUNG IN EINER PLASMAVERARBEITUNGSKAMMER
摘要
申请公布号 AT459975(T) 申请公布日期 2010.03.15
申请号 AT20030797912T 申请日期 2003.09.16
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 STEGER, ROBERT
分类号 H01J37/32;H05H1/46;C23C16/50;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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