发明名称 MASK CLAMP MOVING MECHANISM AND FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100947572(B1) 申请公布日期 2010.03.15
申请号 KR20077016159 申请日期 2006.02.22
申请人 发明人
分类号 C23C14/50;C23C14/24 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
地址