发明名称 |
EINEN PLANARWELLENLEITER-LECKMODUS VERWENDENDER ZEITLICH HOCH AUFLÖSENDER ULTRAEMPFINDLICHER OPTISCHER SENSOR UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR |
摘要 |
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申请公布号 |
AT460749(T) |
申请公布日期 |
2010.03.15 |
申请号 |
AT20060793818T |
申请日期 |
2006.09.25 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
FREY, LAURENT |
分类号 |
H01L31/00;G01T1/16;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L31/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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