异物检查装置之检测平台结构

摘要

一种异物检查装置之检测平台结构，用以对一承置在面板承置平台上的标的面板之待检测面进行异物检测，包括一位在面板承置平台邻近位置处之设备承置基座，设备承置基座设有至少一对相互平行且以一检测方向延伸之导引结构，分别位在面板承置平台之对应侧，并滑移地结合有一对直线位移机构于导引结构，一光发射单元及一光接收单元分别设置在直线位移机构，由光发射单元发射一检测光束通过标的面板之待检测面后，由光接收单元予以接收。

主权项

一种异物检查装置之检测平台结构，用以对一承置在面板承置平台上的标的面板之待检测面进行异物检测，该检测平台结构包括：一设备承置基座，位在该面板承置平台之邻近位置处，该设备承置基座设有至少一对相互平行且以一检测方向延伸之导引结构，分别位在该面板承置平台之对应侧；至少一对直线位移机构，可滑移地结合于该设备承置基座之导引结构，该直线位移机构包括有一滑块及一感测器承置座；一光发射单元，设置在其中一直线位移机构之感测器承置座，面朝该标的面板且高于该标的面板之待检测面一预定高度，用以发射一检测光束平行通过该标的面板之待检测面；一光接收单元，设置在与该光发射单元相对应位置之另一直线位移机构之感测器承置座，用以将该光发射单元所发射之检测光束予以接收。