摘要 |
当涂敷的基板大型化,为了涂敷处理的高速化而使涂敷喷头多数化时,而增加讯号线及电线的数目后,会形成由于发尘所造成之清洁度降低或降低涂敷精确度的问题。针对设置有可朝同一方向往返移动之门型框架、及复数个可朝门型框架的长边方向移动之涂敷喷头,并将基板置放在与设置于涂敷喷头之喷嘴吐出口对向的方式而被设置的桌台上,一边由吐出口将糊状物朝基板上吐出,一边变化基板与喷嘴之相对位置关系,而在基板上涂敷出期望形状的糊状物图案者,其系在呈直线状配置于架台上的给电线与设置于门型框架侧之受电核心之间,利用磁气结合形成为非接触给电,为了与移动的门型框架进行控制讯号,在地上侧的光通讯手段与可动侧的光通讯手段之间设置半镜,而可以在与移动方向的不同可动部之间进行讯号的收发。 |