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发明名称 SPECTRAL PURITY FILTER, LITHOGRAPHIC APPARATUS INCLUDING SUCH A SPECTRAL PURITY FILTER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY.
摘要
申请公布号 NL2003303(A) 申请公布日期 2010.03.11
申请号 NL20092003303 申请日期 2009.07.29
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 SOER, WOUTER;HERPEN, MAARTEN;JAK, MARTIN
分类号 G03F7/20;G21K1/06 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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