| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Bildung von Dünnschichten |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19581483(B4) |
申请公布日期 |
2010.03.11 |
| 申请号 |
DE19951081483 |
申请日期 |
1995.11.28 |
| 申请人 |
ASM INTERNATIONAL N.V. |
发明人 |
SUNTOLA, TUOMO;LINDFORS, SVEN |
| 分类号 |
C23C16/455;C30B25/02;C23C16/44;C23C16/52;C30B25/10;C30B25/14;C30B29/46;C30B35/00 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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