角速度传感器

摘要

本发明提供一种角速度传感器。在电路基板上一体式密封振荡器与内部电路的角速度传感器中，在产品装配后，能够检测经由内部电路的输出信号不能检测的振荡器的微小特征变化，能够准确筛选在制造过程中发生的振荡器的细小裂缝等的不合格，并能够提高产品的可靠性。该角速度传感器具备：振荡器(70、72)；固定构成驱动振荡器并检测角速度信号的内部电路的IC(50)或被动部件(60)等部件且电连接这些部件的电路基板(20)；和覆盖电路基板的表面而装载且密封振荡器或电路内部的罩(110)，在将由内部电路处理的输出信号引出到电路基板的背面的外部电极(40)的角速度传感器中，在电路基板的背面设置振荡器检查用电极(42)，由于电连接振荡器的表面电极，因而在装配后能够直接测量振荡器的电气特性。

主权项

1.一种角速度传感器，具备：振荡器；内部电路，驱动所述振荡器，检测角速度信号；电路基板，固定所述振荡器与构成所述内部电路的部件，电连接所述振荡器的各表面电极与构成所述内部电路的部件，并且具有用于取出角速度检测信号的外部电极，电连接所述内部电路的输出电极与所述外部电极；和罩，为了覆盖所述电路基板的表面而被装载，密封固定在所述电路基板上的所述振荡器与所述内部电路，其特征在于，所述电路基板具有用于由所述罩密封所述振荡器与所述内部电路之后从外部检查所述振荡器的特性的振荡器检查用电极，电连接所述振荡器的各表面电极与所述振荡器检查用电极。