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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD.
摘要
申请公布号 NL2003341(A) 申请公布日期 2010.03.10
申请号 NL20092003341 申请日期 2009.08.11
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 MARTENS, ARJAN;VERHAGEN, MARTINUS;KRAMER, PIETER;HEUSSCHEN, HUBERTUS
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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