发明名称 |
连接端子、使用了连接端子的半导体封装件及半导体封装件的制造方法 |
摘要 |
本发明改善具有置换镀金膜的连接端子的连接可靠性。一种连接端子,具有:导体层;非电解镀镍膜;第一镀钯膜,其是纯度为99质量%以上的置换镀钯膜或非电解镀钯膜;第二镀钯膜,其是纯度为90质量%以上且小于99质量%的非电解镀钯膜;置换镀金膜,其中,非电解镀镍膜、第一镀钯膜、第二镀钯膜及置换镀金膜依次层叠在导体层的一面侧,置换镀金膜位于与导体层相反侧的最表层。 |
申请公布号 |
CN101668880A |
申请公布日期 |
2010.03.10 |
申请号 |
CN200880013501.6 |
申请日期 |
2008.04.23 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
江尻芳则;畠山修一;有家茂晴;长谷川清 |
分类号 |
C23C18/52(2006.01)I;H01L23/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/52(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱 丹 |
主权项 |
1.一种连接端子,其具有:导体层;非电解镀镍膜;第一镀钯膜,其是纯度为99质量%以上的置换镀钯膜或非电解镀钯膜;第二镀钯膜,其是纯度为90质量%以上且小于99质量%的非电解镀钯膜;和置换镀金膜,其中,所述非电解镀镍膜、所述第一镀钯膜、所述第二镀钯膜及所述置换镀金膜依次层叠在所述导体层的一面侧,所述置换镀金膜位于与所述导体层相反侧的最表层。 |
地址 |
日本东京都 |