| 摘要 |
1. Способ получения ионно-плазменного нанослойного покрытия на лопатках турбомашин из титановых сплавов, включающий ионно-имплантационную обработку поверхности основного материала лопатки с последующим чередующимся нанесением на нее слоев металлов и соединений этих металлов с другими металлическими и неметаллическими материалами, отличающийся тем, что после ионно-имплантационной обработки поверхности основного материала лопатки вначале на ее поверхность наносят слой металла толщиной от 10 до 30 нм, затем производят имплантационную обработку этого слоя ионами других металлических и неметаллических материалов до получения сплошного внедренного в поверхность слоя толщиной от 1 до 9 нм, а затем повторяют чередующееся нанесение слоев металла толщиной от 10 до 30 нм с последующей имплантацией ионов на глубину от 1 нм до 9 нм после каждого нанесения металлического слоя, причем в качестве металлов используют Ti, Zr, Hf, Cr, V, Nb, Та, Mo, W, Al, La, Eu или их соединения, а в качестве имплантируемых ионов других металлических и неметаллических материалов Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их сочетание, при условии разнородности металлов, наносимых в качестве слоя и металлов, имплантируемых в этот слой. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что после имплантаци ионов проводят постимплантационный отпуск, причем постимплантационный отпуск и нанесение нанослойного покрытия проводят в одном вакуумном объеме за один технологический цикл. ! 3. Способ по любому из пп.1-2, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят при энергии ионов 0,2-50 КэВ и дозе имплантации ионов 1010 до 5·1020 ! ион/см2, но не превышающей начало распыления материала слоя. ! 4. Способ по лю� |
