| 发明名称 | 一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法。薄膜为类金刚石结构，薄膜中金属铝的质量分数为3％-20％，余量为碳；金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜中，铝与碳不成键，薄膜厚度介于500-5000纳米之间。本发明的含铝类金刚石碳膜具有很低的内应力、较高的硬度、良好膜/基结合力和良好的耐磨性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101665904A | 申请公布日期 | 2010.03.10 |
| 申请号 | CN200810150860.8 | 申请日期 | 2008.09.04 |
| 申请人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明人 | 王立平;张广安;薛群基 |
| 分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 兰州中科华西专利代理有限公司 | 代理人 | 方晓佳 |
| 主权项 | 1、一种含铝类金刚石碳膜，其特征在于薄膜为类金刚石结构，薄膜中金属铝的质量分数为3％-20％，余量为碳；金属铝以原子态分散于非晶类金刚石碳膜中，铝与碳不成键，薄膜厚度介于500-5000纳米之间。 | ||
| 地址 | 730000甘肃省兰州市城关区天水中路18号 | ||