化合物及其制造方法以及含有该化合物的抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种为了进一步提高化学放大型的抗蚀剂组合物的灵敏度而利用的具有酸增殖功能的化合物及使用该化合物的抗蚀剂组合物。该化合物是由式(I)或(I’)表示的化合物。(式(I)中，Z¹及Z²分别独立地表示氢原子、C1～C12的烷基或C3～12的环状饱和烃基。其中，在Z¹及Z²中，至少一方为C1～12的烷基或C3～12的环状饱和烃基。环Y¹及环Y²分别独立地表示可被取代的C3～20的脂环式烃基。Q¹～Q⁴及Q^’1～Q^’4分别独立地表示氟原子或C1～6的全氟烷基。m及n分别独立地表示0～5的整数)。

主权项

1.一种化合物，其是由式(I)或(I’)表示的化合物，式(I)中，Z¹及Z²分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基或碳原子数3～12的环状饱和烃基，在Z¹及Z²中，至少一方为碳原子数1～12的烷基或碳原子数3～12的环状饱和烃基，环Y¹及环Y²分别独立地表示可被取代的碳原子数3～20的脂环式烃基，Q¹～Q⁴分别独立地表示氟原子或碳原子数1～6的全氟烷基，式(I’)中，Q’¹～Q’⁴分别独立地表示氟原子或碳原子数1～6的全氟烷基，m及n分别独立地表示0～5的整数。