显微定位测试装置

摘要

本发明涉及LED晶圆检测用装置。特别是与定位测试结构有关，采用一体化紧凑结构，是一种完成微晶片测试定位、探针调整、光电检测等工作的装置。本发明包括基座1，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滚子滑轨构成24，平动组件藉由第一滑座22与基座1相连，动力源20通过固定座21固定，并放置于第一滑座22的顶面，第二滑座23置于第一滑座22顶面，且第一滑座22、第二滑座23之间设置滚子滑轨24，第二滑座23端部设置通孔231，在通孔处有缺口232，通孔231内放置CCD摄像机、CCD摄像机由CCD，镜头31、光源32。本发明的优点在于结构紧凑，操作方便，人机交互好，一CCD摄像头即完成定位监视功能。本发明是放置于检测机上，供测试LED晶圆检测用。

主权项

1.显微定位测试装置，其特征在于：它包括一基座(1)，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源(20)、固定座(21)、第一滑座(22)、第二滑座(23)、滚子滑轨构成(24)，平动组件藉由第一滑座(22)与基座(1)相连，动力源(20)通过固定座(21)固定，并放置于第一滑座(22)的顶面，第二滑座(23)置于第一滑座(22)顶面，且第一滑座(22)、第二滑座(23)之间设置滚子滑轨(24)，第二滑座(23)端部设置通孔(231)，在通孔处有缺口(232)，通孔(231)内放置CCD摄像机、CCD摄像机由CCD，镜头(31)、光源(32)。