发明名称 感光性树脂和微透镜的制造方法
摘要 本发明的课题是提供具有耐热性、高分辨率、高出光效率的微透镜用材料。作为本发明的解决问题的方法是,提供一种正型抗蚀剂组合物,含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B),所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元,所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。该正型抗蚀剂组合物具有在波长633nm下折射率为1.6以上、在波长400~730nm下透射率为80%以上的涂膜物性。本发明还提供微透镜的制造方法,该制造方法包括将正型抗蚀剂组合物涂布在基板上,并进行干燥、曝光,然后进行显影的工序。
申请公布号 CN101669069A 申请公布日期 2010.03.10
申请号 CN200880013847.6 申请日期 2008.05.14
申请人 日产化学工业株式会社 发明人 根木隆之;坂口崇洋;岸冈高广
分类号 G03F7/023(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 主分类号 G03F7/023(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 代理人 段承恩;田 欣
主权项 1.一种正型抗蚀剂组合物,含有碱溶性聚合物(A)和化合物(B),所述碱溶性聚合物(A)含有具有芳香族稠环或其衍生物的结构单元,所述化合物(B)具有可进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团。
地址 日本东京都