发明名称 |
用于旋转传感器装置的制造方法和旋转传感器装置 |
摘要 |
本发明涉及一种用于旋转传感器装置(150)的制造方法,该旋转传感器装置具有支架(126,130,134,162,164)、振动质量(152)和至少一个弹簧(124),振动质量(152)与支架(126,130,134,162,164)通过所述至少一个弹簧(124)连接,其中,所述至少一个弹簧(124)如此地设计,使得能够借助驱动装置将振动质量(152)置于相对于支架(126,130,134,162,164)绕振动轴线的振动运动中,该制造方法具有以下步骤:形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层和由半导体材料和/或金属制成的第二层的层序,其中,第一层(108)的面向第二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层所覆盖;由第一层结构化出所述至少一个弹簧(124);和由第二层结构化出振动质量(152)的至少一个能够借助驱动装置(128,130)置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元。此外本发明还涉及一种旋转传感器装置(150)。 |
申请公布号 |
CN101666647A |
申请公布日期 |
2010.03.10 |
申请号 |
CN200910168652.5 |
申请日期 |
2009.09.02 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
J·克拉森 |
分类号 |
G01C19/56(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I |
主分类号 |
G01C19/56(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
侯鸣慧 |
主权项 |
1.一种用于旋转传感器装置(120,150)的制造方法,该旋转传感器装置具有支架(126,130,134,162,164)、振动质量(122,152)和至少一个弹簧(124),振动质量(122,152)与支架(126,130,134,162,164)通过所述至少一个弹簧(124)连接,其中,所述至少一个弹簧(124)如此地设计,使得能够借助驱动装置将振动质量(122,152)置于相对于支架(126,130,134,162,164)绕振动轴线的振动运动中,该制造方法具有以下步骤:形成具有由半导体材料和/或金属制成的第一层(108)和由半导体材料和/或金属制成的第二层(112)的层序,其中,第一层(108)的面向第二层(112)的边界面至少部分地被一绝缘层(110)所覆盖(S1);由第一层(108)结构化出所述至少一个弹簧(124)(S21);和由第二层(112)结构化出振动质量(122,152)的至少一个能够借助驱动装置(128,130)置于绕振动轴线的振动运动中的振动质量亚单元(S22)。 |
地址 |
德国斯图加特 |