一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法

摘要

本发明公开了一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法，方法为：将含有3个结晶水的乙酰丙酮镧和乙酰丙酮四乙醇钽固体按照摩尔比为3∶1的比例称取后混合，然后加入丙酸和甲醇混合溶剂溶解，配制成前驱液；将前驱液旋涂于用丙酮超声清洗过的基底上，将涂好的基底置于管式炉中，于还原性气氛中高温热处理，然后冷却至室温即制得La₃TaO₇阻隔层。本发明首先采用常规简单金属盐配制前驱液，然后再采用一步快速热处理的制备方法，制备的La₃TaO₇阻隔层薄膜具有良好c轴织构和平整表面，有效地提高了前驱液的稳定性，同时也简化了前驱液的配制条件和阻隔层的制备工艺；本发明可实现La₃TaO₇阻隔层的低成本、大规模制备。

主权项

1.一种烧绿石型涂层导体阻隔层的制备方法，其特征在于，制备过程为：(1)将含有3个结晶水的乙酰丙酮镧和乙酰丙酮四乙醇钽固体按照摩尔比为3∶1的比例称取后混合，然后加入体积比为1-10∶1的丙酸和甲醇混合溶剂溶解，配制成总摩尔浓度为c的前驱液，其中0.1≤c≤1.0mol/L；(2)将步骤(1)中的前驱液以2500-4000转/分钟的速率旋涂于用丙酮超声清洗过的基底上，将涂好的基底置于管式炉中，从室温以不低于300℃/分钟的升温速率加热，于还原性气氛中在1000-1150℃恒温0.5-1小时，最后以不低于2℃/分钟的降温速率冷却至室温，即制得La3TaO7阻隔层；所述还原性气氛为按体积百分比计的Ar-4％H2或N2-5％H2。