磁性传感器

摘要

本发明提供一种具有能够使多个磁阻元件的温度均匀的结构的磁性传感器。基板(11)上形成有构成磁阻元件(MR1)的感磁部(121～124)与构成磁阻元件(MR2)的感磁部(131～134)。感磁部(121～124、131～134)由长条状的半导体膜形成，而且在感磁部(121～124)的半导体膜上，沿着长条方向按规定间隔形成有由导电性材料构成的短路电极。感磁部(121～124、131～134)构成为各自的长条方向平行地排列且靠近。此时，感磁部(121～124、131～134)形成为按照磁阻元件(MR2)的感磁部(131、132)、磁阻元件(MR1)的感磁部(121、122)、磁阻元件(MR2)的感磁部(133、134)、磁阻元件(MR1)的感磁部(123、124)的顺序排列。

主权项

1、一种磁性传感器，其具备磁性检测部，该磁性检测部串联连接多个磁阻元件并将由该串联连接的多个磁阻元件分压的电压作为输出信号，所述磁阻元件在基板表面上形成电阻值根据通过磁通量而变化的感磁部来构成，该磁性传感器的特征在于，每个所述磁阻元件具有：形成为长条状的多个所述感磁部、和将该多个所述感磁部串联连接的连接导体部，分别构成所述多个磁阻元件的多个感磁部沿一个方向排列配置，按照构成一个磁阻元件的至少一个感磁部相对于构成该一个磁阻元件的其它多个感磁部在两侧不相邻的方式，配置所有磁阻元件的感磁部。