微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备

摘要

本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107，其中，微波谐振腔体内设有等间隔排列的磁场装置306，样品台系统设在工艺室内部，微波谐振腔体、真空系统、自动传片系统分别与工艺室809相连，微波功率源及传输系统与微波谐振腔体相连，控制系统的主机内固化有控制软件，通过接口分别控制微波功率源及传输系统、工艺室与样品台系统、真空系统、气路系统的工作状态，完成薄膜的淀积工艺过程。本发明具有大面积均匀性好、淀积速率高、自动化程度和生产效率高、可靠性好、功耗小、稳定性和重复性好的优点。

主权项

1.一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，包括微波功率源及传输系统(101)、微波谐振腔体(102)、工艺室与样品台系统(103)、真空系统(104)、气路系统(105)，所述的微波谐振腔体(102)、真空系统(104)、气路系统(105)分别与工艺室与样品台系统(103)相连，其特征在于：工艺室与样品台系统(103)设有工艺室(809)、承片装置(801)和样品台(802)，该工艺室(809)与自动传片系统(106)相连，该样品台(802)中设有加热装置(814)，该自动传片系统(106)包括预真空室(701)、传片机械手(702)、放置在预真空室内的取片片盒(703)和置片片盒(704)，取片片盒装载衬底光片，置片片盒装载薄膜晶片，传片机械手(702)从取片片盒中取出衬底光片，通过矩形阀(509)由预真空室进入工艺室(809)，通过样品台承片装置(801)将晶片放置在样品台(802)上，并通过样品台承片装置将薄膜晶片取出，经矩形阀由工艺室进入预真空室，将薄膜晶片放置在置片片盒(704)中微波谐振腔体(102)采用上圆波导(301)-锥形波导(302)-下圆波导(313)三段一体结构，微波谐振腔体底部设有介质窗(303)，该介质窗上设有磁场装置(306)，该磁场装置采用三圈永磁磁铁(402)由内向外按不同半径和角度等间隔固定在无磁模板(401)上，即R1∶R2∶R3＝1∶2∶3，θ1∶θ2∶θ3＝4∶2∶1，形成环形相间排列结构；所述的每个系统均通过控制系统(107)控制。