将从样本发出的第一和第二部分图像束合并为合成图像束的光学系统

摘要

本发明涉及用于将分别从样本发出的第一和第二部分图像束合并为合成图像束的光学系统，尤其在检查已准备好的样本的光学仪器中，设置阻挡装置，其包括用于第一和第二部分图像束的相应的可移动阻挡元件，每个阻挡元件具有一个或多个阻挡区域，通过阻挡元件的移动使得至少一个阻挡区域被带入具有部分图像束的工作位置，以改变各个部分图像束在合成图像束中的面积比例，所述阻挡装置包括可移动布置的连接装置，用于连接所述两个阻挡元件，通过移动该连接装置改变所述部分图像束在合成图像束中各自的面积比例。

主权项

1.一种光学系统，用于将第一和第二部分图像束(112、122)合并为合成图像束(102)，其中每个部分图像束分别从样本(10、20)发出，该光学系统尤其用在用于检查已准备好的样本的光学仪器中，其中设置6有阻挡装置(103；400；500；600)，其包括用于所述第一和第二部分图像束(112、122)的相应的可移动阻挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)，每个阻挡元件具有一个或多个阻挡区域(301a，301b；911，912)，其中至少一个阻挡区域(301a，301b；911，912)通过所述阻挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)的移动能够被带入具有部分图像束(112，122；302)的工作位置，以便改变各个部分图像束(112、122；302)在合成图像束(102)中的面积比例，其特征在于所述阻挡装置(103；400；500；600)包括用于连接所述两个阻挡元件(115，125；300；402，403；502，503；602，603)的可移动布置的连接装置(104；401；501；601)，其中所述部分图像束(112，122；302)在合成图像束(102)中的各自的面积比例通过所述连接装置(104；401；501；601)的移动而改变。