| 发明名称 | 热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能抑制升华物质堆积在导出管道内的热处理装置。热处理装置(1A)在把被处理工件(W)收容在其热处理部分(21)内的状态下，通过在使所述热处理部分(21)内的空气进行循环的同时对其加热，来对被处理工件(W)进行热处理，并且通过一面将外部空气加热后送入所述热处理部分(21)内，一面使所述热处理部分(21)内的空气流入导出管道(5)内，对所述热处理部分(21)的内部进行换气。在所述导出管道(5)中设置有催化剂(6)，在对所述被处理工件(W)进行热处理的过程中分解由该被处理工件所产生的升华物质。 | ||
| 申请公布号 | CN100593681C | 申请公布日期 | 2010.03.10 |
| 申请号 | CN200710122788.3 | 申请日期 | 2007.07.09 |
| 申请人 | 爱斯佩克株式会社 | 发明人 | 长野由龟雄;手钱永充 |
| 分类号 | F27D7/04(2006.01)I | 主分类号 | F27D7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 武玉琴;张友文 |
| 主权项 | 1.一种热处理装置，在把被处理工件收容在其热处理部分内的状态下，通过在使所述热处理部分内的空气进行循环的同时对其加热，来对所述被处理工件进行热处理，并且通过一面将外部空气加热后送入所述热处理部分内，一面使所述热处理部分内的空气流入导出管道内，对所述热处理部分的内部进行换气，在所述导出管道中设置有催化剂，在对所述被处理工件进行热处理的过程中分解由该被处理工件所产生的升华物质，其特征在于，所述热处理装置还具有用来吸入外部空气的吸气管道，所述导出管道包括：排气管道，用于把从所述热处理部分流出的空气直接排到外部；以及回流管道，从所述排气管道分路出来，连在所述吸气管道上，用于把从所述热处理部分流出的空气，通过所述吸气管道再次送入热处理部分内，所述催化剂设置在所述排气管道中比回流管道分路位置更上游一侧的部分上，或者设置在回流管道上。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||