| 发明名称 |
In-situ ion source cleaning for partial pressure analyzer used in process monitoring |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2463209(A) |
申请公布日期 |
2010.03.10 |
| 申请号 |
GB20100000317 |
申请日期 |
2008.07.11 |
| 申请人 |
INFICON INC |
发明人 |
CHENGLONG YANG;JEFFREY P MERRILL;LOUIS C FREES;STEVEN J LAKEMAN;DANIEL E HOFFMAN |
| 分类号 |
H01J49/14;H01J37/32;H05H1/24 |
主分类号 |
H01J49/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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