发明名称 |
一种电子型高温超导体镧铈铜氧薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明提供的制备电子型高温超导体LCCO薄膜的方法,使用脉冲激光沉积设备,包括以下步骤:1.按照La<sub>2-x</sub>Ce<sub>x</sub>CuO<sub>4</sub>,其中0.08≤x≤0.16配比,采用固相反应法制成LCCO陶瓷靶材,安装到反应室的靶座上;2.选择衬底:选择SrTiO<sub>3</sub>、MgO或LaAlO<sub>3</sub>,清洗干净放入反应室内加热台上,关闭反应室;3.将反应室抽真空至背底真空优于2.0×10<sup>-4</sup>Pa;4.通过加热器将衬底加热至温度为675-800℃;5.首先向反应室内通入反应气体;6.然后对LCCO陶瓷靶材表面进行清理;7.将LCCO靶材加热至升华,开始在衬底上制备LCCO薄膜;8.反应结束后,停止通入反应气体,抽真空至真空度优于2×10<sup>-4</sup>Pa,然后将制备有LCCO薄膜的衬底降温到退火温度,进行退火,最后将制备有LCCO薄膜的衬底自然冷却至室温。 |
申请公布号 |
CN100593583C |
申请公布日期 |
2010.03.10 |
申请号 |
CN200610165448.4 |
申请日期 |
2006.12.20 |
申请人 |
中国科学院物理研究所 |
发明人 |
赵柏儒;袁洁;吴昊;金魁;赵力;曹立新;许波 |
分类号 |
C23C14/28(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/28(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
高存秀 |
主权项 |
1.一种制备电子型高温超导体La2-xCexCuO4薄膜的方法,使用脉冲激光沉积设备;其特征在于,包括以下步骤:1).按照La2-xCexCuO4配比称料,其中0.08≤x≤0.16;采用固相反应法制成La2-xCexCuO4陶瓷靶材,安装到反应室的靶座上;2).选择衬底:衬底为MgO或LaAlO3,清洗干净放入反应室内加热台上备用,关闭反应室;3).将反应室内抽真空至背底真空优于2.0×10-4Pa;4).通过加热器将衬底加热至温度为675-800℃;5).首先向反应室内通入氧气,调整反应室内的气压为10-20Pa;6).然后对La2-xCexCuO4陶瓷靶材表面进行清理;7).调节靶基距为3-6cm,激光脉冲频率为1-6Hz,激光能量为180-240mJ,开始在衬底上制备La2-xCexCuO4,沉积La2-xCexCuO4薄膜时间为5-20分钟;8).反应结束后,停止通入反应气体,并且将反应室内抽真空至真空度优于2×10-4Pa,然后将步骤7)制备的La2-xCexCuO4薄膜样品降温至450-550℃,保持10-20分钟进行退火;之后自然冷却至室温,得到所述的电子型高温超导体La2-xCexCuO4薄膜。 |
地址 |
100080北京市海淀区中关村南三街8号 |