发明名称 固态成像装置及其制造方法以及成像设备
摘要 可以同时实现充分的空穴积聚层和暗电流的减少。固态成像装置(1)包括对入射光进行光电转换的光接收部分(12)。该固态成像装置(1)具有形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上以降低界面态的膜(21),以及形成在形成为降低界面态的膜(21)上且具有固定负电荷的膜(22)。空穴积聚层(23)形成在光接收部分(12)的光接收表面(12s)上。
申请公布号 CN101669205A 申请公布日期 2010.03.10
申请号 CN200780052901.3 申请日期 2007.08.20
申请人 索尼株式会社 发明人 山口哲司;大岸裕子;安藤崇志;池田晴美
分类号 H01L27/148(2006.01)I;H01L31/10(2006.01)I 主分类号 H01L27/148(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1.一种固态成像装置,其特征在于:所述固态成像装置包括对入射光进行光电转换的光接收部分,所述固态成像装置包括:设置在所述光接收部分的光接收表面上且降低界面态的膜;以及设置在所述降低界面态的膜上且具有固定负电荷的膜,其中空穴积聚层设置在所述光接收部分的光接收表面侧。
地址 日本东京都