发明名称 RADIO FREQUENCY EXCITED GAS LASER SOURCE
摘要
申请公布号 EP2160807(A1) 申请公布日期 2010.03.10
申请号 EP20080790015 申请日期 2008.06.24
申请人 EL.EN. S.P.A. 发明人 CLEMENTI, GABRIELE;MASOTTI, LEONARDO;SEVERI, ALBERTO
分类号 H01S3/038;H01S3/0973 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
主权项
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