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发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER ELECTRODE
摘要
申请公布号 EP1090407(B1) 申请公布日期 2010.03.10
申请号 EP19990928674 申请日期 1999.06.15
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 KUTHI, ANDRAS;LI, LUMIN
分类号 H01J37/32;H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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