平动式光栅光调制器、其制造方法及其阵列

摘要

本发明涉及光调制器技术领域，具体涉及一种光栅光调制器及其制造方法和阵列；所述平动式光栅光调制器包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方，所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成，梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上，梁体的另一端与光栅固定连接，在光栅下方的绝缘层上设置有下电极，所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构；本发明的平动式光栅光调制器，弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构，能增加梁体长度，减小等效梁的弹性系数，使得光栅相对增厚而刚性相对增强，从而降低可动光栅下拉弯度，保证光栅面平坦，使光栅光调制器的开关调制效果更好。

主权项

1.平动式光栅光调制器，其特征在于：包括硅衬底以及设置于硅衬底上的绝缘层，光栅通过弹性悬臂梁悬空支撑于绝缘层上方，所述弹性悬臂梁由梁体和锚杆组成，梁体的一端通过锚杆固定设置于绝缘层上，梁体的另一端与光栅固定连接，在光栅下方的绝缘层上设置有下电极，所述弹性悬臂梁的梁体具有折叠结构。