发明名称 |
Photosensitive composition and pattern-forming method using the same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1703326(B1) |
申请公布日期 |
2010.03.10 |
申请号 |
EP20060005324 |
申请日期 |
2006.03.15 |
申请人 |
FUJIFILM CORPORATION |
发明人 |
MIZUTANI, KAZUYOSHI;KAWANISHI, YASUTOMO |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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